Pompe à soufflet – Série FA

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :

Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).

Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.

Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.

Débit Max. 40 l/mn
Matière du corps PTFE, PFA
Température 5 à 100 °C
Pression max. 4 bar
Vitesse max. 150 coups/mn
Consommation d'air max. 470 Nl/mn


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