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Pompe à soufflet Série FA
Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur
Pompe à soufflet – Série FA
Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur
Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :
Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).
Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.
Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.
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Débit max. |
40 l/mn |
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Pression max. |
4 bars/mn |
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Matériaux principaux |
PTFE, PFA |
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Vitesse max. |
150 coups/mn |
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Température |
5 à 100 °C |
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Consommation d'air max. |
470 Nl/mn |
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