Pompes volumétriques à soufflet pour le semi-conducteur
Pompe volumétrique à soufflet – pour le semi-conducteur
Les
pompes volumétriques à soufflet
Iwaki occupent une place clé dans le domaine de la fabrication pour les semi-conducteurs.
Série FS
Série FW-H
Série FF-H
Série FZ
Série FA
Série d'accessoires pour les pompes série F
Série CSP
Série CF-D
Série PDS
Catégories de pompes :
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centrifuges à entraînement magnétique
doseuses et volumétriques
volumétriques à engrenages
pour le semi-conducteur
à vide à membrane et compresseurs
pompes vide-fûts
Séries de pompes :
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CSP - 500 ml/mn - 2 bars (0,2 Mpa)
FA - 40 l/mn - 4 bars/mn
FF-H - 40 l/mn - 3 bars (0,3 Mpa)
FS - 55 l/mn - 5 bars (0,5 Mpa)
FW-H - 80 l/mn - 4,5 bars (0,45 Mpa)
FZ - 22 l/mn - 3 bars (0,3 Mpa)
PDS - 5 ml/shot - 0,15 Mpa